HF Systemlösungen
Qualitativ hochwertige und Leistungsstarke Hochfrequenzlösungen
Ob Prozessstabilität oder einfache Integration – die Anforderungen an eine leistungsstarke HF Stromversorgung sind oft komplex. Unsere Kunden vertrauen auf unsere HF-Expertise, um ein Höchstmaß an Zuverlässigkeit und Wiederholgenauigkeit mit unseren kostengünstigen Lösungen zu erreichen.
Unsere HF-Kompetenzen
In kritischen HF-Systemen ist ein Ausfall keine Option.
Deshalb setzt XP Power bei seinen HF-Lösungen auf höchste Zuverlässigkeit, mittels Steuerungen und Monitoring behalten sie die Systemleistung stehts im Blick.
Wir verfügen über einfach zu integrierende HF-Generatoren mit den neuesten Kommunikationsprotokollen und fortschrittlichen Puls-Funktionen. In Kombination mit unseren hochmodernen Impedanzanpassungsnetzwerken (Matchboxen) helfen wir unseren Kunden, ihre anspruchsvollsten Probleme zu lösen.
Verbesserte Prozesswiederholbarkeit und ultimative Lebensdauer
Wir bieten eine breite Palette an Plasmastromversorgungen und Anpassungsnetzwerken, konfigurierbar speziell für Ihre Anwendung. Von der Halbleiterfertigung bis hin zu Industrieanwendungen haben wir Produkte, die Ihre speziellen Prozessanforderungen erfüllen.
Die HF-Generatoren von XP Power verfügen über eine neue Technologie zur Stabilisierung und Eliminierung von HF-Schwingungen, welche bei Veränderung der Prozessbedingungen entstehen. Dies resultiert für die Stromversorgung in einem wiederholbareren R2R-Verfahren. Durch die Eliminierung der Instabilität arbeiten die Komponenten außerdem sicherer und verbessern die Langlebigkeit Ihres HF-Stromversorgungssystems.
Vorstellung unseres umfassendes Portfolios an HF Sysstemlösungen
CDX Serie
Die CDX-Serie ist der führende duale HF-Plasmagenerator. Dieses einzigartige Design ist der Höhepunkt von mehr als 40 Jahren XP Hochfrequenztechnik und integriert zwei verschiedene HF-Ausgänge in ein einziges, kompaktes Hochleistungspaket. Jeder Ausgang kann mit Puls, Frequenztuning oder CEX Funktionen konfiguriert werden. In Bezug auf Wartungsfreundlichkeit und Integration ist der CDX-Generator die kostengünstigste und flexibelste HF-Lösung, entwickelt um zukünftigen Anforderungen des Marktes gerecht zu werden.
Funktionen und Vorteile
- Kann mit zwei beliebigen Festfrequenzen von 400kHz, 2MHz, 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz oder 60MHz konfiguriert werden
- Bis zu 1500W pro Ausgang
- Optionale Pulsen, Frequenztuning oder CEX-Funktionen
- Zuverlässige und wiederholbare RF-Leistungsabgabe von jedem unabhängigen Ausgang
- Flexible Plattform unterstützt eine breite Palette von Anwendungen
- Niedrige Betriebskosten
CH Serie
Die äußerst kompakten HF-Generatoren der CH-Serie vereinen unsere XP Power HF-Verstärker- und Switch-Mode-DC-Technologien in einem Halb 19-Zoll-Gehäuse mit einem hohen Maß an Zuverlässigkeit und Genauigkeit . Durch das modulare Design ist der CH-Generator für jede Kundenplattform konfigurierbar.
Eigenschaften und Vorteile
- Umfangreichste Auswahl an Frequenzen: 400 kHz bis 60 MHz
- Leistungsbereiche von 50 W bis 1500 W
- "Frequenz-Agile" Tuning und erweitertes Pulsen
- DeviceNet, RS232 und EtherCAT
- Flexibles Design für einfache Prozessintegration
- Kostengünstige Lösung mit TurboTune-Technologie
CB Serie
Wo Prozesszuverlässigkeit ein Muss ist, zeichnet sich der in Halbleiterfertigungsprozessen bewährte Generator der CB Serie durch präzise und wiederholgenaue Steuerung aus, indem ultra-stabile und zuverlässige HF-Energie für Ihre kritischsten Prozesse geliefert wird.
Eigenschaften und Vorteile
- Frequenzbereich: 13,56 bis 60 MHz
- Leistungsbereich: 50 bis 5000 W
- S-Technologie bietet ultra-stabile Leistung
- Verbesserte Plasmastabilität für eine optimale Prozessumgebung
- Verbesserte RF-Steuerung für hohe Wiederholgenauigkeit
- Robustes Design für eine lange Betriebsdauer
CLB Serie
Die CLB-Serie umfasst alle Innovationen unserer CB-Plattform in einem kleineren, leichteren und leicht zu integrierenden Gehäuse. Die CLB-Generatoren sind speziell für Nieder- und Mittelfrequenzanwendungen konzipiert und bieten eine verbesserte Genauigkeit.
Eigenschaften und Vorteile
- Standard Ausgangsleistungen: 600, 1250, 3000 W oder optional konfigurierbar von 200 W bis 10 kW
- Breites Spektrum von niedrigen bis mittleren Frequenzen: 20kHz bis 2MHz
- Verbesserte Genauigkeit
- Die hochflexible Plattform unterstützt eine breite Palette von Nieder- bis Mittelfrequenzanwendungen
- Ultrastabiler geregelter HF-Ausgang für die Prozesssteuerung
- Niedrige Betriebskosten
Matchboxen
Die Impedanzanpassungsnetzwerke von XP Power sind mit unserem einzigartigen Algorithmus für Hochgeschwindigkeitsabstimmung ausgestattet, der eine präzise Anpassung auch bei Lasten mit hohem "Q" ermöglicht. Die Steuerschaltung passt die Eingangsimpedanz schnell, genau und zuverlässig auf 50 Ohm an und reagiert damit auf die Änderungen der Lastcharakteristik während des Prozesses.
Eigenschaften und Vorteile
- Großer Leistungsbereich von 50W bis 10kW
- Breiter Impedanzbereich zur Abdeckung verschiedener Anwendungen
- DC-Bias und HF VP-P-Detektorschaltungen
- Anpassbar für alle Kammertypen
- "Run-to-Run" und "Unit-to-Unit" Wiederholbarkeit während der Anpassung gewährleistet eine bessere Prozesskontrolle
- Verbessert die Produktivität der Anlage durch schnelle Abstimmung und Plasmastabilisierungszeit